Xiamen Juda Chemical & Equipment Co., Ltd. jedan je od vodećih proizvođača i dobavljača tekućina za vakuumske pumpe pfpe jhlo 06/6 u Kini. Ako tražite tekućine za vakuumske pumpe pfpe jhlo 06/6, slobodno kupujte naše kvalitetne proizvode po konkurentnim cijenama iz naše tvornice. Kontaktirajte nas za ponudu.
Što je PFPE JHLO 06/6 perfluoropolieterska tekućina za vakuumsku pumpu? Tel:+86-592-5803997
PFPE JHLO 06/6je visoko{0}}viskozna-perfluoropolieter (PFPE) inertna tekućina za vakuumsku pumpu, posebno formulirana da zamijeni Solvay Fomblin YL VAC 06/6 za preciznu poluvodičku vakuumsku opremu. Kao potpuno fluorirano sintetičko PFPE mazivo koje se sastoji samo od molekularnih lanaca ugljika, fluora i kisika, pruža neusporedivu čistoću, toplinsku stabilnost i nultu kemijsku reaktivnost - tri referentne vrijednosti o kojima se ne može pregovarati za kontrolu učinka proizvodnje poluvodičkih pločica.
Za razliku od vakuumskih ulja na bazi ugljikovodika ili estera-koja stvaraju hlapljive ostatke i onečišćenje česticama, naš JHLO 06/6 PFPE podvrgava se strogom ISO Class 1 sintezi čistih prostorija i više{4}}ciklusnom testiranju ispuštanja plinova. Ova perfluoropolieterska tekućina ograničava TML i CVCM na ultra-niske pragove, sprječava povratnu kontaminaciju u jetkanju, LPCVD, PVD i vakuumskim pumpama za ionsku implantaciju - izravno smanjujući stope defekata pločica i stabilizirajući proizvodni protok za tvornice od 200 mm/300 mm.
Specifikacija JHL serije PFPE perfluoropolieterskog ulja Tel:+86-592-5803997
Dobijte besplatnu tehničku tablicu
Jezgra poluvodiča-Prednosti PFPE JHLO 06/6 perfluoropolietera Tel:+86-592-5803997
1. Ultra-nisko ispuštanje plinova i nula kontaminacije česticama (zaštitite prinos vafera)
Glavna bolna točka poluvodičkih vakuumskih sustava je hlapljivo povratno strujanje maziva koje zagađuje silikonske pločice. Naš PFPE JHLO 06/6 perfluoropolieter ima izuzetno nizak tlak zasićene pare pod visokim vakuumom:
Minimalni gubitak isparavanjem pod kontinuiranim visokim-vakuumom
Ne-razgradivo pod plazmom, pečenjem na visokoj-temperaturi i ciklusima kriogenog hlađenja
Nema odvajanja mikro{0}}čestica; izbjegava kvar fotorezista, rizike kratkog spoja i oštećenja površine Fab klijenti izvještavaju o 15–22% smanjenju stope otpada od pločica nakon prelaska na JHLO 06/6 PFPE tekućine vakuumske pumpe, zahvaljujući dosljednim ultra-čistim perfluoropolieterskim performansama koje odgovaraju vrhunskim-uvezenim PFPE markama.
2. Potpuna kemijska inertnost protiv kemikalija poluvodičkog procesa
Jedinstvena fluorougljična okosnica perfluoropolietera (PFPE) daje JHLO 06/6 potpunu otpornost na sve agresivne procesne medije: fluorirani plin za jetkanje, halogene, jake oksidanse, ozon i kisele pare.
Nema kemijske reakcije, karbonizacije ili nakupljanja mulja unutar komora pumpe
Ne{0}}zapaljivo, nulta točka paljenja; sigurno za-postupke vakuumskog pumpanja bogate kisikom
Potpuno kompatibilan s FFKM, PTFE, nehrđajućim čelikom i svim poluvodičkim materijalima za brtvljenje crpki Bez nakupljanja taloga produljuje cikluse remonta vakuumske crpke za 2–3 puta u odnosu na konvencionalna ulja, smanjujući vrijeme zastoja u održavanju fab opreme i troškove rezervnih dijelova.
3. Ekstremno široka temperaturna radna stabilnost
Poluvodička vakuumska oprema izmjenjuje se između kriogenog hlađenja (-60 stupnjeva) i pečenja na visokoj temperaturi (260 stupnjeva). PFPE JHLO 06/6 perfluoropolieter održava stabilnu mazivost u ovom cijelom rasponu:
Točka tečenja ispod -58 stupnjeva: glatko pokretanje pumpe u vakuumskim okruženjima ultraniskih temperatura
Temperatura toplinske razgradnje iznad 300 stupnjeva: nema pada viskoznosti ili valova pare tijekom-procesa visoke topline
Stabilna krivulja-temperature viskoznosti, dosljedna učinkovitost vakuumske pumpe-cijele godine
4. Identična izvedba kao Solvay PFPE Fomblin YL VAC 06/6, tro-učinkovita opskrba
Tekućina za vakuumsku pumpu JHLO 06/6 PFPE odražava sve fizikalne i kemijske parametre Solvay Fomblin YL VAC 06/6 perfluoropolietera: odgovarajuću molekularnu težinu, tlak pare, mazivost i pokazatelje ispuštanja plinova.
Izravna zamjena-za sve rotacijske lopatice, suhe i turbomolekularne vakuumske pumpe koje se koriste u tvornicama poluvodiča
Domaća masovna proizvodnja u čistim sobama eliminira duga vremena za uvoz i nestabilne inozemne troškove sirovina
Dostupan u 5L, 20L i rasutom IBC pakiranju za velike{2}}linije za proizvodnju poluvodiča
Ključne primjene u proizvodnji poluvodiča za PFPE JHLO 06/6 perfluoropolieter Tel:+86-592-5803997
Ova vrhunska tekućina za vakuumsku pumpu PFPE standardno je mazivo za vakuumske tijekove visoke-čistoće u proizvodnji prednjih-pločica:
1. Vakuumske pumpe za plazma jetkanje i reaktivno ionsko jetkanje (RIE)
2. Vakuumski sustavi procesa taloženja tankog{1}}sloja LPCVD, PVD, ALD
3. Ionska implantacija, visokovakuumske pumpne jedinice difuzijske peći
4. Otplinjavanje pločica, vakuumska oprema za kriogenu ispitnu komoru
5. Vakuumske cirkulacijske pumpe za transport korozivne kemijske pare
6. Zrakoplovno-svemirsko precizno ispitivanje vakuuma i farmaceutska obrada inertnog vakuuma
Svi scenariji gdje su niska kontaminacija, dug radni vijek i inertna perfluoropolieter PFPE kemija obavezni za zaštitu prinosa gotovog proizvoda.
Zašto globalne tvornice poluvodiča biraju našu seriju JHLO PFPE perfluoropolieter Tel:+86-592-5803997
Uz 10 godina neovisnog rada fluorokemijskih stanica koje opslužuju OEM poluvodiče i proizvođače pločica, proizvodnja PFPE u našoj tvornici strogo slijedi REACH, RoHS i standarde čistoće poluvodiča u čistim sobama:
1
Potpuna-kućna sinteza perfluoropolieterskog baznog materijala, bez miješanja trećih-strana
2
3-stupanjska filtracija čestica prije punjenja za uklanjanje stranih onečišćenja
3
Potpuni MSDS, COA, izvješća o ispitivanju čistih soba dostavljena po seriji
4
PFPE vakuumske tekućine prilagođene viskoznosti (JHLO-04, 14/6, 25/6, 45) dostupne za različite modele pumpi
Pošaljite upit za skupnu ponudu
FAQ – PFPE JHLO 06/6 perfluoropolieterska tekućina za vakuumsku pumpu
01. Može li PFPE JHLO 06/6 u potpunosti zamijeniti Solvay Fomblin YL VAC 06/6?
02. Koje rizike kontaminacije uklanja perfluorpolieter PFPE u odnosu na mineralno vakuumsko ulje?
03. Koje su veličine pakiranja dostupne za PFPE JHLO 06/6?
Popularni tagovi: pfpe jhlo 06/6 tekućine za vakuumske pumpe, dobavljači, proizvođači, tvornica, ponuda, cijena, kupovina, FEP izolacija, Politetrafluoroetilen, PTFE premazi, Ptfe polimer, PTFE premaz u prahu, PTFE smola
